MDPmap单晶和多晶硅片寿命测量仪被设计成一个紧凑的台式非接触电学表征工具,用于离线生产控制或研发,在稳态或短脉冲激励(μ-PCD)下,在一个宽的注入范围内测量参数,如载流子寿命、光导率、电阻率和缺陷信息。自动化的样品识别和参数设置允许轻松适应各种不同的样品,包括外延层和经过不同制备阶段的晶圆,从原生晶圆到高达95%的金属化晶圆。
MDPlinescan在线少子寿命测试仪灵活的OEM少子寿命测试仪器,用于各种不同样品的少子寿命测量,从单晶硅砖到多晶硅砖,从生长的硅片到不同层或金属化的硅片的过程控制。标准的软件接口,便于连接到许多处理或自动化系统。
MDPspot少子寿命测试仪低成本桌面单点测量硅片或晶砖,用于在不同制备阶段表征各种不同的硅样品,无需内置自动化。可选手动操作的z轴厚度高达156毫米的硅砖样品,高达156毫米硅砖,结果可视化的标准软件。
弗莱贝格的MDPpro(MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命)系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等,其非接触式检测和无损成像(μPCD /MDP(QSS))的设计*符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说,MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商d的标准仪器。
MDPmap(MDPmap晶圆片寿命检测仪--少子寿命测试)是一个紧凑的离线台式检测设备,主要被设计用于生产控制或研发、测量少子寿命、光电导率、电阻率和缺陷信息等参数。其工作状态为稳态或短脉冲激励下(μ-PCD)。
德国弗莱贝格MDPinlinescan(MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪)是一款灵活的OEM设备,可以用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。配置标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。
MDPinline(MDP高速晶圆片在线面检测仪--少子寿命检测)是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器,在不到一秒的时间内,就可以“动态”测量出晶圆图。该仪器可为每个晶圆片提供完整的拓扑结构,有效提高了生产线的成本效益和效率。且其实时质量检测可以提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。
德国弗莱贝格仪器的MDPinline ingot(MDP晶锭在线面扫检测仪--进口少子寿命测试)系统是快速多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命,光电导率,电阻率)都可以同时进行测量。
德国Freiberg Instruments的MDPicts(MDP微波探测光诱导电流瞬态谱仪--少子寿命),非接触且无损伤,用于温度依赖的少数载流子寿命测量以及半导体的界面陷阱和体陷阱能级的电性能表征。MDpicts将在半导体材料的基础研究与开发领域取得广泛的应用。
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